1、明视野法
观察样品直接反射光的方法。来自照明器的光通过垂直对准物镜入射到样品上，并且通过物镜观察来自样品的直接反射光。
2、暗视野法
察涉及衍射光的样品干燥方法。照明光通过物镜的周边倾斜地入射到样品上，并且当观察到衍射光时观察来自样品的干燥光。
适用于检测样品上的细小划痕或裂缝，并检测样品的镜面状表面，如晶圆。
3、偏振光法
这是一种使用由两组滤色器（检测偏振器和偏振器）形成的偏振光的显微观察技术。这些偏振轴总是彼此垂直。一些样品在两个滤光器之间形成鲜明对比。或者根据双折射性质和取向（即锌结构的抛光样品）表示颜色。当分析仪插在目镜前面的观察光路处时，偏振器位于垂直照明前面的光路处。
适用于观察金相组织（即球墨铸铁的石墨生长模式），矿物和液晶（LCD）以及半导体材料。
4、微分干涉对比法
这是一种显微观察技术，通过使用明场方法可能无法观察到的明场方法，将对比度高度改变为立体或三维图像。照明光从差分干涉对比棱镜变为两个衍射光。两个衍射光导致样本高度差异在光路处产生小差异，而光路差异成为对比度棱镜和使用差分干涉的分析仪之间的对比度。
重复使用敏感样本以增强高度差异的色差。
适用于测试具有极高精度高度差异的样品，包括金相组织，矿物，磁头，硬盘表面和晶圆精制表面。
5、荧光法
该技术用于发荧光样品。
适用于检测晶片污染，光敏树脂残留，荧光法检测裂缝。
