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显微镜的五种常用观察方法
2019-07-16作者:浏览次数:38  来源:北京新卓仪器有限公司
1、明视野法
观察样品直接反射光的方法。来自照明器的光通过垂直对准物镜入射到样品上,并且通过物镜观察来自样品的直接反射光。
2、暗视野法
察涉及衍射光的样品干燥方法。照明光通过物镜的周边倾斜地入射到样品上,并且当观察到衍射光时观察来自样品的干燥光。
适用于检测样品上的细小划痕或裂缝,并检测样品的镜面状表面,如晶圆。
3、偏振光法
这是一种使用由两组滤色器(检测偏振器和偏振器)形成的偏振光的显微观察技术。这些偏振轴总是彼此垂直。一些样品在两个滤光器之间形成鲜明对比。或者根据双折射性质和取向(即锌结构的抛光样品)表示颜色。当分析仪插在目镜前面的观察光路处时,偏振器位于垂直照明前面的光路处。
适用于观察金相组织(即球墨铸铁的石墨生长模式),矿物和液晶(LCD)以及半导体材料。
4、微分干涉对比法
这是一种显微观察技术,通过使用明场方法可能无法观察到的明场方法,将对比度高度改变为立体或三维图像。照明光从差分干涉对比棱镜变为两个衍射光。两个衍射光导致样本高度差异在光路处产生小差异,而光路差异成为对比度棱镜和使用差分干涉的分析仪之间的对比度。
重复使用敏感样本以增强高度差异的色差。
适用于测试具有极高精度高度差异的样品,包括金相组织,矿物,磁头,硬盘表面和晶圆精制表面。
5、荧光法
该技术用于发荧光样品。
适用于检测晶片污染,光敏树脂残留,荧光法检测裂缝。

显微镜的观察方法
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